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            網(wǎng)站首頁(yè)技術(shù)中心 > 氧氣分析儀在半導(dǎo)體/液晶/電子元器件等領(lǐng)域的相關(guān)應(yīng)用
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            Product center

            氧氣分析儀在半導(dǎo)體/液晶/電子元器件等領(lǐng)域的相關(guān)應(yīng)用

            發(fā)布時(shí)間:2020-10-16 點(diǎn)擊量:1042

            日本東麗TORAY氧氣分析儀MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860

            氧氣表MS-500

            • 多可以同時(shí)測(cè)量8個(gè)點(diǎn)
            • 濃度范圍從ppm到100%均可顯示。
            • 非常適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備,真空設(shè)備等上。
            • 傳感器是直接插入型(用于真空16/25/40的NW法蘭)
            • 特殊涂層應(yīng)用于高度耐用的傳感器,以進(jìn)一步提高耐用性。

            MS-500設(shè)備規(guī)格

            測(cè)量原理

            氧化鋯輕型電池

            形狀

            分體式(轉(zhuǎn)換器:壁掛式,傳感器:直接插入式)

            顯示方式

            4位數(shù)字顯示(密度顯示)

            測(cè)量范圍

            0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積%氧氣2 10 -20?10 -0大氣壓
            自動(dòng)范圍

            重復(fù)性

            在±0.5%FS 0-1%范圍內(nèi)或以上
            ±1%FS以下或≤±
            0.1ppm大于0-1ppm的0-1%內(nèi),atm范圍超出保證的濃度范圍

            測(cè)量點(diǎn)數(shù)

            1-8

            樣氣條件

            壓力

            10 -3至200 KPa(壓力)

            流量

            0.5-5,000 mL / min或0 mL / min(自然擴(kuò)散狀態(tài)的測(cè)量)

            濕度

            露點(diǎn)低于環(huán)境溫度

            溫度

            0-100℃

            其他

            不包含腐蝕性氣體(基于氟的氣體,基于氯的氣體,基于硫化物的氣體等),包含有機(jī)硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。

            比較氣

            大氣層

            記錄儀輸出

            僅變速箱輸出

            變速箱輸出

            RS-232C

            報(bào)警輸出

            沒有

            熱身時(shí)間

            6分鐘以內(nèi)

            尺寸

            MS-500(控制器)

            92(W)x 44(H)x 120(D)(不包括突起)

            MS-510(轉(zhuǎn)換器)

            100(W)x 40(H)x 88(D)(不包括突起)

            傳感器單元

            SD16NW

            總長(zhǎng)100 mm(感應(yīng)部分Φ11×39,主體部分Φ40×51)

            SD25NW

            總長(zhǎng)100mm(感應(yīng)部分Φ11×42,主體部分Φ40×48)

            SD40NW

            總長(zhǎng)100 mm(感應(yīng)部分Φ11×41,主體部分Φ40×49)

            大眾

            MS-500(控制器)

            約0.6Kg

            MS-510(轉(zhuǎn)換器)

            約0.5kg

            傳感器單元

            SD16NW

            約0.2Kg

            SD25NW

            約0.2Kg

            SD40NW

            約0.35Kg

            外部連接

            真空法蘭之一(NW16、25、40)

            使用電源

            24VDC±10%

             

            氧氣計(jì)LC-450A,LC-450D

            LC-450A,LC-450D


            • 可以顯示很寬的濃度范圍,從測(cè)量到的濃度范圍內(nèi)的ppm水平到100%。
            • 改進(jìn)的傳感器耐用性
              氧氣傳感器經(jīng)過特殊處理,以提高其耐用性。
            • 交流寬電源AC100-240VAC(LC-450A)
              * LC-450D由24V DC驅(qū)動(dòng)
            • 緊湊且易于安裝
              深度比我們的傳統(tǒng)型號(hào)還要短,并且不會(huì)占用太多空間。
            • 符合RoHS的產(chǎn)品
            • CE標(biāo)志自我聲明產(chǎn)品
              EN61010-1:2002,EN61326:+ A3:2003

            氧氣計(jì)LC-860

            LC-860

            • 低濃度測(cè)量
              可以測(cè)量ppb到100%
            • 操作簡(jiǎn)便
              按功能可輕松操作
            • 吹掃功能
              比較氣體更穩(wěn)定,測(cè)量更精que(僅適用于具有吹掃功能的規(guī)格)
            • 高可靠性傳感器傳感器
              內(nèi)部還可以進(jìn)行防劣化處理(可選)

             

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