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            薄膜和微小區(qū)域的熱導(dǎo)率如何進(jìn)行測量?

            發(fā)布時(shí)間:2020-11-25 點(diǎn)擊量:1186

            薄膜和微小區(qū)域的熱導(dǎo)率如何進(jìn)行測量?-日本hrd-thermal熱顯微鏡TM3

            用于測量薄膜和微小區(qū)域的熱導(dǎo)率

            特性

            • 熱物理性質(zhì)顯微鏡是測量熱滲透率的裝置,熱滲透率是熱物理性質(zhì)值之一。
            • 它是一種可以通過點(diǎn),線和表面來測量樣品的熱性能的設(shè)備。
            • 也可以測量微米級的熱物理性質(zhì)值的分布,這在常規(guī)熱物理性質(zhì)測量設(shè)備中被認(rèn)為是困難的。
            • 它是*yi款能夠進(jìn)行非接觸式高分辨率熱性能測量的設(shè)備。
            • 利用檢測到的3μm的光斑直徑,可以在高分辨率的微小區(qū)域中測量熱物理性質(zhì)(點(diǎn)/線/表面測量)。
            • 由于可以通過改變深度范圍進(jìn)行測量,因此可以測量從薄膜/多層膜到塊狀材料。
            • 您也可以測量基材上的樣品。
            • 激光非接觸式測量。
            • 可以檢測薄膜下的裂縫,空隙和剝離。

            熱物理顯微鏡的測量原理(概述)

            在樣品上形成金屬薄膜,并用加熱激光器定期加熱。

            1. 由于金屬的反射率具有根據(jù)表面溫度而變化的性質(zhì)(熱解法),因此通過捕捉與加熱激光器同軸地照射的檢測激光器的反射強(qiáng)度的變化,來測量表面的相對溫度變化。去做。
            2. 熱量從金屬薄膜傳播到樣品,導(dǎo)致表面溫度響應(yīng)的相位延遲。該相位延遲取決于樣品的熱性質(zhì)。通過測量加熱光和檢測光之間的相位延遲來獲得熱滲透率。

            熱物理顯微鏡的測量原理(概述)

            主要規(guī)格

            名稱/產(chǎn)品名稱

            熱物理顯微鏡/熱顯微鏡

            測量方式

            熱物理性質(zhì)分布測量(1維,2維,1點(diǎn))

            測量項(xiàng)目

            熱滲透率,(熱擴(kuò)散率),(熱導(dǎo)率)

            檢測光斑直徑

            約3μm

            1點(diǎn)測量標(biāo)準(zhǔn)時(shí)間

            10秒

            待測薄膜

            厚度從幾百納米到幾十微米

            重復(fù)精度

            耐熱玻璃,硅的熱滲透率小于±10%

            樣品

            1.樣品架30mm x 30mm厚度5mm
            2.板狀樣品30mm x 30mm以內(nèi),厚度3mm以內(nèi)

            • 需要對樣品表面進(jìn)行鏡面拋光。
            • 樣品表面需要進(jìn)行Mo濺射。

            工作溫度極限

            24°C±1°C(根據(jù)設(shè)備中內(nèi)置的溫度傳感器)

            平臺移動(dòng)距離

            ? X軸方向20mm
            ? Y軸方向20mm
            ? Z軸方向10mm

            加熱激光

            半導(dǎo)體激光波長:808nm

            檢測激光

            半導(dǎo)體激光波長:658nm

            電源

            交流100V 1.5kVA

            標(biāo)準(zhǔn)配件

            樣品架,參考樣品

            選項(xiàng)

            光學(xué)壓盤,空調(diào),空調(diào)房,飛濺裝置

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