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            氧化鋯氧量分析儀的使用及維護(hù)

            發(fā)布時(shí)間:2021-06-25 點(diǎn)擊量:1130

            氧化鋯氧量分析儀的使用及維護(hù)

            半導(dǎo)體/液晶/電子元件相關(guān)應(yīng)用半導(dǎo)體、電子元件用氧分析儀
            MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860

            氧氣計(jì) MS-500

            MS-500

            • 最多可同時(shí)測(cè)量 8 個(gè)點(diǎn)
            • 可以顯示從 ppm 級(jí)到 100% 的各種濃度。
            • 適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備、真空設(shè)備等上。
            • 傳感器為直插式(NW 法蘭用于真空 16/25/40)
            • 高度耐用的傳感器采用特殊涂層,以進(jìn)一步提高耐用性。?

            MS-500 設(shè)備規(guī)格

            測(cè)量原理

            氧化鋯濃縮電池供電

            形狀

            分離式(轉(zhuǎn)換器:壁掛式,傳感器:直插式)

            顯示方式

            數(shù)字4位顯示(濃度顯示)

            測(cè)量范圍

            0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2 10 -20 ~ 10 -0 atm
            自動(dòng)量程

            重復(fù)性

            在 ± 0.5% FS 0-1% 范圍內(nèi)或更多
            ± 1% FS 或更少或 ±
            0.1ppm更大 0-1% 范圍小于0-1ppm,atm 范圍超出保證濃度范圍

            測(cè)量點(diǎn)數(shù)

            1-8

            樣氣條件

            壓力

            10 -3~ 200 KPa(絕壓)

            流量

            0.5-5,000 mL/min 或 0 mL/min(自然擴(kuò)散狀態(tài)的測(cè)量)

            濕度

            露點(diǎn)低于環(huán)境溫度

            溫度

            0-100℃

            其他

            不含腐蝕性氣體(氟系氣體、氯系氣體、硫系氣體等)、含有機(jī)硅的氣體、可燃成分(包括瓦斯)、油、水。

            比較氣體

            氣氛

            錄音機(jī)輸出

            僅傳輸輸出

            傳輸輸出

            RS-232C

            報(bào)警輸出

            沒有任何

            熱身時(shí)間

            6分鐘內(nèi)

            尺寸

            MS-500(控制器)

            92 (W) x 44 (H) x 120 (D)(不包括突出部分)

            MS-510(轉(zhuǎn)換器)

            100 (W) x 40 (H) x 88 (D)(不包括突出部分)

            傳感器單元

            SD16NW

            全長(zhǎng)100mm(感應(yīng)部分Φ11×39,本體部分Φ40×51)

            SD25NW

            全長(zhǎng)100mm(感應(yīng)部分Φ11×42,本體部分Φ40×48)

            SD40NW

            全長(zhǎng)100mm(感應(yīng)部分Φ11×41,本體部分Φ40×49)

            大量的

            MS-500(控制器)

            約0.6Kg

            MS-510(換能器)

            約0.5kg

            傳感器單元

            SD16NW

            約0.2Kg

            SD25NW

            約0.2Kg

            SD40NW

            約0.35Kg

            外部連接

            真空法蘭之一(NW16、25、40)

            使用的電源

            24VDC ± 10%

             

             

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