日本tasahi半導(dǎo)體和LCD制造設(shè)備用橡膠參數(shù)介紹

發(fā)布時(shí)間：2022-06-27　點(diǎn)擊量：891

日本tasahi半導(dǎo)體和LCD制造設(shè)備用橡膠參數(shù)介紹

- 對(duì)溶劑、酸和堿具有出色的耐受性。

? 比 perflo-elastomer 便宜。

-適用于半導(dǎo)體和液晶制造設(shè)備的濕部件。

氟橡膠的交聯(lián)方式主要有兩種：多元醇交聯(lián)（氟橡膠的主流）和過氧化物交聯(lián)，但各有優(yōu)缺點(diǎn)如下表所示。

	強(qiáng)項(xiàng)	缺點(diǎn)
多元醇	優(yōu)于壓縮變形	用蒸汽水解
過氧化物	優(yōu)異的耐水性和耐蒸汽性	耐熱性和壓縮變形較差

由 Asahi Tazaki 開發(fā)的耐蒸汽性 T77SA01 具有基于多元醇的壓縮變形和耐高溫蒸汽性。

半導(dǎo)體制造設(shè)備

		耐蒸汽 (T77SA1)	通用 FKM
初始物理特性
抗拉強(qiáng)度 (MPa) 伸長(zhǎng)率 (%) 硬度		10.5 230 A69 / S	13.1 270 A70 / S
在100°C 和 1 個(gè)大氣壓下蒸汽	120H后
	抗拉強(qiáng)度變化率 (%) 伸長(zhǎng)率變化率 (%) 硬度變化	± 0 +1.5 ± 0	-20.5 +3.7 -4
	240小時(shí)后
	抗拉強(qiáng)度變化率 (%) 伸長(zhǎng)率變化率 (%) 硬度變化	-3.5 +3.5 -2	-31.0 + 15.5 -8
180℃ 蒸汽	1000H后
180℃ 蒸汽	抗拉強(qiáng)度變化率 (%) 伸長(zhǎng)率變化率 (%) 硬度變化	-15 +8 -4	-68 +60 -二十五
壓縮畸變率(%) 175° x 22H		四	7

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