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氧氣濃度檢測(cè)儀在半導(dǎo)體制造過(guò)程中的重要性
檢測(cè)部分采用穩(wěn)定氧化鋯陶瓷的便攜式氧氣計(jì)。 這是一個(gè)集成傳感器、控制單元、流量計(jì)、泵和過(guò)濾器。
1.與先前型號(hào)（TB-FI系列）相比重量減輕
（EZY：4.3kg/先前型號(hào)：6.0kg）
2.根據(jù)用途可選擇顏色變化（紅、綠、藍(lán)）
3.平滑的溫度控制可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的測(cè)量（減少波動(dòng)）
4.傳感器多層保護(hù)，耐腐蝕，使用壽命長(zhǎng)（保修2年）
| 模型 | EZY-1-G | EZY-1-R | EZY-1-B | EZY-2-G | EZY-2-R | EZY-2-B |
| 顏色 | 綠色的 | 紅色的 | 藍(lán)色的 | 綠色的 | 紅色的 | 藍(lán)色的 |
| 類(lèi)型 | 無(wú)采樣泵 | 帶采樣泵 | ||||
| 原則 | 氧化鋯陶瓷電化學(xué)電池 | |||||
| 作品 | SS盒、TB傳感器、C-301控制單元、帶針閥的流量計(jì)等。 | |||||
| 測(cè)量范圍 | 1ppm～100% O2 | |||||
| 展示 | %: 0~99.99%O2 ppm : 0~ 9999ppmO2 | |||||
| 輸出 | 4~20mADC（隔離） 0~1VDC、0~5VDC、0~10VDC（隔離，選其一） RS-232C 繼電器接點(diǎn)：3點(diǎn)（A接點(diǎn)），集電極開(kāi)路輸出：2點(diǎn)（以下可任意分配） 濃度報(bào)警：Hi/Lo、HHi/Hi 或 Lo/LLo（LCD 顯示） 傳感器異常（故障）報(bào)警：加熱器、RTD斷線(xiàn)（LCD顯示） 預(yù)熱完成信號(hào) 范圍回復(fù) | |||||
| 接點(diǎn)輸入 | 遠(yuǎn)程校準(zhǔn)變送輸出（電壓/電流） 保持遠(yuǎn)程量程切換 | |||||
| 量程切換 | 自動(dòng)/手動(dòng)/遠(yuǎn)程 | |||||
初始設(shè)置 | 0~25.00%O2 / 0~ 9999ppmO2 | |||||
| 樣本吸取 | 樣品壓配合 | 內(nèi)置泵抽吸 | ||||
| 樣品壓力 | 高達(dá) 2 個(gè)大氣壓 | |||||
| 漂移線(xiàn)性重復(fù)性 響應(yīng)速度 管道連接 樣品流速 樣品溫度 預(yù)熱時(shí)間 電源 配件 | ±2%FS 以?xún)?nèi)/周 ±1%FS 或 ±1ppm 以?xún)?nèi)，以較大者為準(zhǔn) 在 ±1%FS 或 ±1ppm 以?xún)?nèi)，以較大者為準(zhǔn) 10秒內(nèi)90%響應(yīng)（如果向高濃度側(cè)擺動(dòng)） RC1/4 0.2～2L/分鐘 最高60℃ 約20分鐘 免費(fèi)電源（85-260VAC） 電源線(xiàn)3m | |||||
